特許

J-GLOBAL ID：200903060212258944

クリーンベンチモジュールシステム

発明者： ミノル アカガワ ,  マーク エイ リュカム
出願人/特許権者： インテルマテック コーポレイション
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-041693
公開番号（公開出願番号）：特開平5-157302
出願日： 1992年02月27日
公開日（公表日）： 1993年06月22日
要約：

【要約】【目的】複数のクリ-ンベンチユニットを気密的に連結して、各ユニット内の作業空間を連結してクリーンルーム環境を備えた気密通路を長さ調整可能に形成する。【構成】連結手段によって複数のクリーンベンチユニットが連結され、各ユニットの主フレームにより密封された作業空間は、カバーピースのドアの開放に従って隣接するユニットの作業空間と連通して気密通路を形成し、クリーンルーム環境を提供する。【効果】廉価なユニットの連結により費用の高騰が回避される。

請求項（抜粋）：

相互に連結自在の複数のユニットを有するクリーンベンチモジュールシステムであって、各ユニットが、上面を有する基部、該上面の後方位置にある背部および、該上面との間に作業空間を画定するように、該背部によって支持され、該上面の上方に配置された天井部を含む主フレームと、前壁ならびに側面開口および該側面開口を開閉することができる対応するドアを設けられた側壁を有するカバーピースであって、該作業空間を密封し、それにより該密封作業空間の前方および側方の境界として働くために該主フレームと係合することができるカバーピースと、それぞれが該個々のユニットの一つを別のものと相互に並んだ位置関係において連結し、密封された気密通路が二つのユニットの間にそれらの側面開口を介して形成され、物体を、該二つのユニットの間で該通路に通して前後に移送することができるようにするための、該カバーピースの該側壁に設けた連結手段とを含むことを特徴とするシステム。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-015984
  
• 特開平1-171646
  
• 特開平2-107384
  
• 特開平3-007838