特許
J-GLOBAL ID：200903060213460950
走査電子顕微鏡における焦点装置
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-073142
公開番号（公開出願番号）：特開2000-268760
出願日： 1999年03月18日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：
【要約】【課題】走査電子顕微鏡において従来、高倍率観察は、画像の走査速度を遅くし、焦点合わせの微調整を繰り返し行うという時間の要す作業により行っていた。本発明の目的は、画像の焦点を観察モニターの中心部に合うように調整すれば、正焦点の画像が得られる様にし、高倍率観察時の焦点合わせ作業の簡略化を図ることにある。【解決手段】走査電子顕微鏡1内部に設置された偏向回路2より発生されたX,Y偏向信号および焦点制御回路3より発生された焦点制御信号は、焦点補正回路4に入力され、焦点補助機能動作ON時には、画像の走査速度および倍率に連動した焦点制御補正演算を行い出力し、正焦点であれば中心部付近以外が不足焦点となるように焦点コイル5を制御するように構成される。
請求項（抜粋）：
走査電子顕微鏡の画像観察時、焦点を合わせるための装置において、焦点制御回路の焦点制御信号に画像の走査速度に同期しかつ倍率に連動した偏向信号を演算し、焦点合わせの補助制御を行えるような焦点補助装置を備えたことを特徴とした走査電子顕微鏡における焦点装置。
Fターム (2件)：
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