特許

J-GLOBAL ID：200903060215340412

ガスセルの製造方法、ガスセル及びルビジウム原子発振器

発明者： 柴田 恒則 ,  珎道 幸治
出願人/特許権者： エプソントヨコム株式会社
代理人 (2件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-114121
公開番号（公開出願番号）：特開2007-287952
出願日： 2006年04月18日
公開日（公表日）： 2007年11月01日
要約：

【課題】ガスセルのチップ部を切り離す前に、ガスセルにルビジウム金属を封入して高周波処理を行い、その後、チップ部を加熱形成してガラス成分の再結晶化を行なうことにより、チップ部にルビジウム金属を集まりやすくして、小型、低価格化に適した高安定なガスセルの製造方法を提供する。【解決手段】このガスセル製造装置200は、本体47と、複数のガスセル部31と、開口部48、49と、を備えてガスセル集合体30を構成している。そして、開口部48にはバルブ45とバルブ46が備えられている。また、ガスセル部31内のルビジウム金属をガラス内面に化学結合させる高周波電源38と、開口部48に接続され本体47内の気体を抜気する真空ポンプ44と、開口部49に接続され本体47内にルビジウム金属を供給するルビジウム金属供給部33と、を備えている。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

ルビジウムガスを充填するガスセル本体及び該ガスセル本体内で気化し切れないルビジ ウム金属を貯留するために前記ガスセル本体適所から外部に突出した金属溜まり部を備え たガスセルの製造方法であって、 連結管本体と、該連結管本体の側面に連通連結された複数の連結支管と、前記各連結支 管の先端に連通連結された前記ガスセル本体と、を備えたガスセル連結体を用意する工程 と、 前記連結管本体から負圧を供給することにより各ガスセル本体及び各連結支管内を含む 前記ガスセル連結体内を真空状態とする抜気工程と、 該抜気工程により内部を真空化したガスセル連結体内に所定量の前記ルビジウム金属を 封入する封入工程と、 該封入工程によりルビジウム金属が封入された少なくとも前記ガスセル本体と連結支管 に外部から高周波エネルギを供給するエネルギ供給工程と、 必要な量の前記ルビジウム金属を少なくとも前記ガスセル本体及び連結支管内に再封入 する再封入工程と、 前記連結支管を加熱して前記ガスセル本体を前記ガスセル連結管本体から切り離す加熱 工程と、 を備えたことを特徴とするガスセルの製造方法。

IPC (1件)：

H01S 1/06

FI (1件)：

H01S1/06

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特許第2636687号