特許

J-GLOBAL ID：200903060220149208

高純度複合材およびその製法

発明者： 安富 義幸 ,  宮田 素之 ,  金井 恒行
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-045369
公開番号（公開出願番号）：特開平7-252662
出願日： 1994年03月16日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：

【要約】【目的】本発明は、不純物を含有しない高純度の構造体を提供することにある。【構成】化学気相反応雰囲気下において、基板表面にレーザーあるいはプラズマにより局部的に加熱し、加熱した部分のみに結晶を析出させ、該レーザーあるいはプラズマを自動的に移動させることにより任意の形状の高純度複合体を得られる。【効果】本発明により、高純度,高温強度,靭性,耐熱性に優れた複合材が得られ、タービン部材,実装部材への適用が可能となる。

請求項（抜粋）：

フッ素,塩素,ヨウ素,アスタチン,水素の少なくとも一種からなる元素及び/または化合物からなる不純物量が5から1000ppm の無機化合物で構成されていることを特徴とする高純度複合材。

IPC (7件)：

C23C 16/50 ,  B01J 19/08 ,  B01J 19/12 ,  C04B 41/87 ,  C23C 16/30 ,  C23C 16/48 ,  D01F 9/08