特許

J-GLOBAL ID：200903060222803193

流量測定装置および基板処理装置

発明者： 山下 哲朗
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-266201
公開番号（公開出願番号）：特開平11-108708
出願日： 1997年09月30日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：

【要約】【課題】 不良品を出すことが少ない流量検出装置を提供すること。【解決手段】 処理液は、管11を通して供給され、圧力調整機構13によって処理液の圧力が調整される。そして処理液は流量計16を通って、フィルタFに流れる。フィルタFによって不純物が除去された処理液は、バルブ14を介してノズル15から吐出するように構成されている。流量計16の内部には、フロート17が入れられており、流量計16の内部を液体が流れることによってフロート17は上昇し、流れが停止するとフロート17は下降する。このフロート17の上昇又は下降の際に要する時間を2組のセンサ18a,18b,19a,19bによって検出することによって、処理液を吐出する際の供給圧力や処理液の粘度の経時的変化を測定することができ、吐出不良などが起こる傾向を事前に知ることができる。

請求項（抜粋）：

基板に対して所定の処理を施すための必要な処理液を供給する際に、当該処理液の流量を測定する装置であって、(a) 配管中に設けられたフロートと、(b) 前記フロートの移動速度又は移動時間を検出するセンサと、(c) 前記センサの検出値を記憶する手段と、を備えることを特徴とする流量測定装置。

IPC (4件)：

G01F 1/22 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

G01F 1/22 Z ,  H01L 21/304 341 S ,  H01L 21/304 341 N ,  H01L 21/30 569 C