特許
J-GLOBAL ID：200903060224712829
二次元測定機
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
, 青山 正和
, 鈴木 三義
, 西 和哉
, 村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-378412
公開番号（公開出願番号）：特開2004-212057
出願日： 2002年12月26日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：
【課題】被検査物に対して測定ヘッドを相対移動させる案内部における案内誤差の影響を小さく抑えて、被測定物の寸法、形状の測定を精度よく行う。【解決手段】Y軸ガイド3を設けた定盤4と、被測定物Wを載置するテーブル5と、定盤4のY軸ガイド3にY軸スライダー6,6を介して支持され、テーブル5の上方においてX軸方向xに沿って設けられたX軸ビーム7と、X軸ビーム7に支持されたX軸スライダー8と、X軸スライダー8に支持され被測定物Wを測定する測定ヘッド9と、X軸ビーム7のY軸方向の移動距離を測定するY軸スケール10と、X軸ビーム7をY軸方向に移動させるY軸駆動手段11と、測定ヘッド9をX軸方向xに移動させるX軸駆動手段とを備えている。Y軸ガイド3の上面(支持面)3aと、被測定物Wの上面(被測定面)WaとY軸スケール10の被検出面とは略同一の水平面L上に設けられている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
Y軸ガイドを両端部に設けた定盤と、該定盤の上部に設けられて被測定物を載置する水平のテーブルと、前記定盤の各Y軸ガイドにY軸スライダーを介して支持され、かつ前記テーブルの上方においてX軸方向に沿って設けられたY軸方向に移動自在のX軸ビームと、該X軸ビームに支持されてX軸方向に移動自在のX軸スライダーと、該X軸スライダーに支持されて前記テーブル上の被測定物を測定する測定ヘッドと、前記X軸ビームのY軸方向の移動距離を測定するY軸スケールとを備えた二次元測定機において、
前記Y軸ガイドのY軸スライダーを支持する支持面と、前記テーブル上の被測定物の被測定面と、前記スケールの被検出面とが、テーブルに平行な略同一の平面上に設けられていることを特徴とする二次元測定機。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
2F065AA03
, 2F065AA23
, 2F065BB22
, 2F065FF04
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065PP12
, 2F065PP24
