特許

J-GLOBAL ID：200903060225325969

メッキ処理装置のミストトラップ機構、メッキ処理装置のミストトラップ方法

発明者： 大加瀬 亘 ,  木村 宏一郎 ,  松尾 剛伸
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-342802
公開番号（公開出願番号）：特開2003-147596
出願日： 2001年11月08日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：

【要約】【課題】 簡便な構成によりミスト除去効果を向上することが可能なメッキ処理装置のミストトラップ装置および方法を提供すること。【解決手段】 気体排出通路を、メッキ処理室内の空間とメッキ処理室外の空間とを通ずるように設け、この気体排出通路に、液体噴出部と固体壁とを設ける。液体噴出部から噴出された液体に排出気体が衝突し、さらに液体噴出部から噴出された液体により表面を濡らされた固体壁に排出気体が衝突する。排出気体にもたらされるこのような2段階の衝突により、排出気体中のミストは効果的に液体中に取り込まれる。また、気体排出通路に接続して液体回収部を設けミストを液体に取り込まれた形で一括的に捕集する。これにより簡便な構成で処理空間内のミスト除去効果を向上することが可能になり、メッキ処理装置に付属させる場合においてもその設置場所の選択を融通性高く行うことができる。

請求項（抜粋）：

メッキ処理室内の空間から前記メッキ処理室外の空間に通じる気体排出通路と、前記気体排出通路に設けられ、前記排出される気体の流れに衝突する液体を噴出する液体噴出部と、前記噴出された液体により表面を濡らされ、かつ前記濡らされた表面が前記排出される気体の流れに衝突すべく前記気体排出通路に設けられた固体壁と、前記気体排出通路に接続して設けられ、前記噴出された液体、前記気体の流れに衝突された液体、および前記固体壁の表面を濡らした液体を回収する液体回収部とを有することを特徴とするメッキ処理装置のミストトラップ機構。

IPC (2件)：

C25D 21/04 ,  C25D 7/12

FI (2件)：

C25D 21/04 ,  C25D 7/12

Fターム (8件)：

4K024AA09 ,  4K024AB01 ,  4K024BB11 ,  4K024CB01 ,  4K024CB02 ,  4K024CB11 ,  4K024CB19 ,  4K024CB26