特許
J-GLOBAL ID：200903060226488950
露光装置用組立式光束調整器具
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷 照一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-047584
公開番号（公開出願番号）：特開平7-302756
出願日： 1995年03月07日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：
【要約】【目的】 半導体生産における縮小投影露光装置において、マスクに形成された多様な微細パターン形状に合うように光束調整を行うに際し、一つの器具で自由に調整できるようにし、製作時間と費用の節約および保管場所の削減をする。【構成】 中央部に所定の大きさの透過孔7aが形成された外側銅板7と、外側銅板の透過孔の外周近傍に具備され、透過孔の実質開口半径Rを可変とすべく透過孔の中心点から対角方向へ移動可能な少なくとも一つの透過孔覆い8と、透過孔覆いの下方部横軸に具備されて前後移動する少なくとも一つの横棒型内側覆い9、10と、横棒型内側覆いと交差するように外側銅板覆いの下方部縦軸に具備されて左右移動する少なくとも一つの縦棒型内側覆い11、12を含んで成っている。
請求項（抜粋）：
半導体ウエハプロセス用の縮小投影露光装置において、ホトマスクの形状に合わせるべく光束分布を調整する光束調整器具であって、中央部に所定の大きさの透過孔が形成された外側銅板と、上記外側銅板の透過孔の外周近傍に具備され、上記透過孔の実質開口半径を可変とすべく上記透過孔の中心点から対角方向へ移動可能な少なくとも一つの透過孔覆いと、上記透過孔覆いの下端部横軸に具備されて前後移動する少なくとも一つの横棒型内側覆いと、上記横棒型内側覆いと交差するように上記外側銅板覆いの縦軸に具備されて左右移動する少なくとも一つの縦棒型内側覆いとを含んで成ることを特徴とする組立式光束調整器具。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
