特許
J-GLOBAL ID:200903060227273737

マイクロレンズおよびその作製方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 奈良 武
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-128256
公開番号(公開出願番号):特開平6-317701
出願日: 1993年04月30日
公開日(公表日): 1994年11月15日
要約:
【要約】【目的】 化学的な耐久性が高く、高温、高湿、経時変化等により劣化してしまうことがないものを得る。【構成】 ガラス等の作製方法の一つであるゾルゲル法を応用し、このときに用いるゾルを調製する。穴を有した平板透明部材をゾル溶液に触れさせることにより、表面張力によって穴内のゾルに凹形状部を付与する。このゾルは反応してゲルとなり、凹形状のままの状態で固化し、これを乾燥、焼成することによって凹形状部がガラス化する。これにより、透明部材1の表面に形成した穴2にガラスからなる凹面集光部3を埋設したマイクロレンズを作製する。
請求項(抜粋):
透明部材の表面に形成した穴にガラスまたはセラミックスからなる凹面集光部を埋設したことを特徴とするマイクロレンズ。
IPC (2件):
G02B 3/00 ,  H01L 27/14

前のページに戻る