特許
J-GLOBAL ID:200903060234852467

半導体パッケージのためのリード・フレーム・ルーティングされたチップ・パッド

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 浅村 皓 ,  浅村 肇 ,  清水 邦明 ,  林 鉐三
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-517395
公開番号(公開出願番号):特表2007-521656
出願日: 2004年06月18日
公開日(公表日): 2007年08月02日
要約:
モールド型樹脂半導体パッケージ(38)に使用する再配置リード・フレームは、逐次的金属除去プロセスによって電気伝導性基板から形成される。プロセスは、(a)電気伝導性基板の第1のサイドをパターニングして、チャネルによって分離されたランドのアレイを形成する工程、(b)それらのチャネル内に第1のモールディング・コンパウンド(18)を配置する工程、(c)電気伝導性基板の第2のサイドをパターニングして、チップ・アタッチ・サイト(24)のアレイと、ランドのアレイとチップ・アタッチ・サイト(24)のアレイを電気的に相互接続するルーティング路(26)とを形成する工程、(d)少なくとも1つの半導体デバイス(28)上の入力/出力パッドをチップ・アタッチ・サイト(24)のアレイのチップ・アタッチ・サイト部材(24)に直接電気的に相互接続する工程及び(e)少なくとも1つの半導体デバイス(28)、チップ・アタッチ・サイト(24)のアレイ及びルーティング路(26)を第2のモールディング・コンパウンド(36)で封止する工程を含む。このプロセスは、チップ・スケール・パッケージ及び非常に薄いパッケージを製造するために特に適している。
請求項(抜粋):
少なくとも1つの半導体デバイス(28)を封止するためのパッケージ(38)であって、 対向する第1及び第2のエンドを有するリード・フレームであって、前記リード・フレームの前記第1のエンドは、外部回路にボンディングされるようにされたランド(14)のアレイで終端し、また、前記第2のエンドは、前記少なくとも1つの半導体デバイス(28)上の入力/出力パッドに直接電気的に相互接続された(30)チップ・アタッチ・サイト(24)のアレイで終端する前記リード・フレームと、 ランド(14)の前記アレイとチップ・アタッチ・サイト(24)の前記アレイとを電気的に相互接続するルーティング路(26)と、 ランド(14)の前記アレイの個々のランド間に配置された第1のモールディング・コンパウンド(18)と、及び 前記少なくとも1つの半導体デバイス(28)、チップ・アタッチ・サイト(24)の前記アレイ及び前記ルーティング路(26)を封止する第2のモールディング・コンパウンド(36)と、 を含む前記パッケージ(38)。
IPC (3件):
H01L 23/12 ,  H01L 25/00 ,  H01L 23/50
FI (3件):
H01L23/12 501T ,  H01L25/00 B ,  H01L23/50 R
Fターム (14件):
5F067AA01 ,  5F067AB04 ,  5F067BA03 ,  5F067BB01 ,  5F067BB08 ,  5F067BC12 ,  5F067CC02 ,  5F067CC07 ,  5F067CD10 ,  5F067DA05 ,  5F067DA07 ,  5F067DA16 ,  5F067DE14 ,  5F067DF02

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