特許
J-GLOBAL ID：200903060238323175
電子写真用感光体及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-006292
公開番号（公開出願番号）：特開平5-188618
出願日： 1992年01月17日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：
【要約】【目的】感光体を加熱しなくても画像流れを生じないことを可能とする。【構成】SiH4、N2、H2、B2H6を原料ガスとして導電性支持体1上に順に障壁層2、感光層3を積層、形成し、次いでこの感光層3の上に形成する表面保護層4を、a-SiN:HでSiH4:54sccm、N2:160sccm,H2:36sccm、基板温度300°C、基板-電極間距離50mm、高周波電力0.65W/cm2、成膜圧力60Pa、成膜時間5minの成膜条件で形成したことを特徴とする。【効果】表面保護層は元素結合量Si-N>Si-H>N-H、水との接触角90°C以上、元素組成比N/Siが0.5〜0.8、水素量が5〜10at%、膜密度が2.5〜3.0g/cm3を持って形成される。
請求項（抜粋）：
SiH4、N2、H2、B2H6を原料ガスとして導電性支持体上に順に障壁層、感光層を積層、形成し、次いでこの感光層の上に表面保護層を形成する電子写真用感光体において、前記表面保護層の元素結合量がSi-N>Si-H>N-H、膜中元素組成比N/Siが0.5〜0.8、膜中水素量が5〜10at%、膜密度が2.5〜3.0g/cm3であって、前記保護層と水との接触角が90°以上であることを特徴とする電子写真用感光体。
IPC (2件)：
G03G 5/08 305
, G03G 5/08 360
