特許

J-GLOBAL ID：200903060239302325

透明板の表裏判別方法、光学式センサ及び透明板の表裏検査装置

発明者： 宇野 徹也 ,  細川 速美
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-019828
公開番号（公開出願番号）：特開平10-204637
出願日： 1997年01月17日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：

【要約】【課題】 透明基板に透明膜を形成された透明板の表裏を、非接触、光学式の方法で確実に検出できるようにする。【解決手段】 光照射部12では、発光素子16から出射した光を投光レンズ17で集光させ、偏光フィルタ18によりP偏光に偏光した後、透明板3の上面に照射する。透明板3の上面に照射されたP偏光は透明板3の上面で正反射し、あるいは透明板3に進入して透明板3の下面で正反射した後、受光素子19により受光される。この受光素子19で受光された受光量(光強度)を一定の値と比較することによって透明板3の表裏を判別する。

請求項（抜粋）：

透明基板の表面に透明膜を形成された透明板の表裏を判別するための表裏判別方法であって、前記透明板に斜めに光を照射し、透明板の表面側におけるP偏光成分の反射光量と透明板の裏面側におけるP偏光成分の反射光量との相違に基づいて、前記透明板の表裏を判別することを特徴とする透明板の表裏判別方法。

IPC (2件)：

C23C 14/54 ,  G02F 1/13 101

FI (2件)：

C23C 14/54 E ,  G02F 1/13 101