特許

J-GLOBAL ID：200903060241595887

真空チャンバの搬送機構

発明者： 池田 和人 ,  吉田 久志 ,  油谷 幸則 ,  綿引 真一郎 ,  狩野 利一
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-255971
公開番号（公開出願番号）：特開平10-101225
出願日： 1996年09月27日
公開日（公表日）： 1998年04月21日
要約：

【要約】【課題】 真空チャンバ内の汚染を防止するとともに、真空チャンバの大型化を防止する。【解決手段】 真空チャンバ1の外側に取付ベース21、22を取り付け、取付ベース21、22にボールネジ23を取り付け、昇降可能に昇降ブロック25を支持し、昇降ブロック25に設けられた雌ネジにボールネジ23を螺合し、真空チャンバ1の外部にモータ24を設け、モータ24の出力軸とボールネジ23とを連結し、昇降ブロック25にロッド30の一端を取り付け、ロッド30の他端に真空チャンバ1の内部の移送ユニット31を取り付け、真空チャンバ1、昇降ブロック25に長尺ベローズ29の各端部を取り付ける。

請求項（抜粋）：

真空チャンバの内部で被搬送物を搬送する真空チャンバの搬送機構において、上記真空チャンバの外部に昇降ブロックを昇降可能に支持し、上記昇降ブロックを昇降する駆動手段を設け、上記昇降ブロックにロッドを取り付け、上記ロッドに上記真空チャンバの内部の保持手段を取り付け、上記真空チャンバと上記ロッドとの間の気密を保持する気密保持手段を設けたことを特徴とする真空チャンバの搬送機構。

IPC (3件)：

B65G 49/07 ,  B65G 49/00 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

B65G 49/07 D ,  B65G 49/00 A ,  H01L 21/68 A