特許

J-GLOBAL ID：200903060248154029

シート付ウエハの製造方法および製造装置

発明者： 坂 田 英 人
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (4件)： 吉武 賢次 ,  永井 浩之 ,  岡田 淳平 ,  勝沼 宏仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-137582
公開番号（公開出願番号）：特開2005-322685
出願日： 2004年05月06日
公開日（公表日）： 2005年11月17日
要約：

【課題】 略円盤状のウエハから外周部分を容易かつ効率的に取り除き、支持シートと支持シート上に接着されたダイシング済ウエハとを有するシート付ウエハであって、ウエハの周縁部分がICチップのみから構成されたシート付ウエハを製造する製造方法を提供する。【解決手段】 シート付ウエハ10の製造方法は、シート付円盤状ウエハ10aを準備する工程と、シート付円盤状ウエハを保持機構31に保持させる工程と、UV光9を遮断するマスク33をシート付円盤状ウエハの支持シート(UV発泡剥離シート)11側に配置する工程と、UV光源35によりシート付円盤状ウエハの円盤状ウエハ15aの外周部分17に対応する部分にUV光を照射する工程とを備えている。マスクは円盤状ウエハの外周部分に対応する部分が切り取られている。UV光源はシート付円盤状ウエハに対しマスク越しに配置されている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

UV発泡剥離シートと、UV発泡剥離シート上に接着され、多数のICチップを有し、ダイシング済みであって略円盤状の円盤状ウエハとを有するシート付円盤状ウエハを準備する工程と、 シート付円盤状ウエハを保持機構に保持させる工程と、 円盤状ウエハの外周部分に対応する部分が切り取られ、UV光を遮断するマスクをシート付円盤状ウエハのUV発泡剥離シート側に配置する工程と、 マスク越しに配置されたUV光源により、シート付円盤状ウエハにUV光を照射する工程とを備え、 ウエハの周縁部分がICチップのみから構成された外周部分取り除き済シート付ウエハを製造するためのシート付ウエハの製造方法。

IPC (1件)：

H01L21/301

FI (1件)：

H01L21/78 P