光情報記録媒体用電鋳金型及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：二瓶正敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-352294
公開番号（公開出願番号）：特開平11-170265
出願日： 1997年12月05日
公開日（公表日）： 1999年06月29日
要約：

【要約】【課題】マスタースタンパを母型として電鋳を繰り返す際に、母型からの離型性を高めるために形成される離型皮膜が、電鋳工程中に一部剥離することにより、離型不良が生じる。【解決手段】電鋳金型の表面に、窒化度が上層部で大きく、下層部で小さいか若しくは未窒化である金属窒化物層を形成する。又、所定のレジストパターンが形成されたガラス原盤上に、反応性真空成膜法により前記金属窒化物層を形成した後、電鋳により金属の厚付けを行う工程により上記の電鋳金型を製造する。

請求項（抜粋）：

金属層上に、これと同種の金属の窒化物層が形成された電鋳金型であって、前記窒化物層の窒化度が、上層部で大きく、下層部で小さいか、もしくは未窒化とされている光情報記録媒体用電鋳金型。

IPC (2件)：

B29C 33/38 , G11B 7/26 511

FI (2件)：

B29C 33/38 , G11B 7/26 511

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