特許

J-GLOBAL ID：200903060252227588

弾性表面波素子の周波数調整方法およびその装置

発明者： 古川 修 ,  三島 直之 ,  真木 直明
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 樺澤 襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-204890
公開番号（公開出願番号）：特開平9-055636
出願日： 1995年08月10日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：

【要約】【課題】 面倒な手作業を要することなく、高性能の所望周波数に対しても効率的かつ高精度に調整でき、製品の品質を向上させ、均一化できる弾性表面波素子の周波数調整装置を提供する。【解決手段】 搬送具12に取着した弾性表面波素子の半製品17を搬送機構13により真空処理部11内のエッチングを行なう搬送位置12c 〜12f に搬送する。搬送位置12c 〜12f にて弾性表面波素子の半製品17に、プラズマ発生源36からプラズマを照射して、周波数調整部分であるチップの上面をエッチングする。エッチングにより変化する弾性表面波素子の半製品17の周波数特性をネットワークアナライザ49によって測定し、測定した周波数が所望の値になるまで制御手段51によりプラズマによりエッチングさせる。エッチング完了後は搬送機構13により弾性表面波素子の半製品17を搬送具12とともに真空処理部11外に搬出する

請求項（抜粋）：

搬送具に取着された弾性表面波素子を真空処理部内の所定のエッチング位置に搬送し、このエッチング位置にて前記弾性表面波素子にプラズマを照射してその周波数調整部分をエッチングし、このエッチングにより変化する弾性表面波素子の周波数特性を測定してこの測定された周波数が所望の値になるまでプラズマによりエッチングし、エッチング完了後は前記弾性表面波素子を前記搬送具とともに前記真空処理部外に搬出することを特徴とする弾性表面波素子の周波数調整方法。