特許

J-GLOBAL ID：200903060252284670

基板用仮置台

発明者： 持丸 順行 ,  久保 富美夫 ,  井出 悟 ,  小林 一雄
出願人/特許権者： 株式会社岡本工作機械製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-020857
公開番号（公開出願番号）：特開2002-224951
出願日： 2001年01月30日
公開日（公表日）： 2002年08月13日
要約：

【要約】【課題】 研磨装置の仮置台に基板を載せる、または仮置台より基板を受け取る際に、基板表面を傷つけない仮置台の提供。【解決手段】 仮置台9aは、剛性のあるPVC樹脂製プレ-ト93の表面にポリビニルアルコ-ル多孔質体よりなる緩衝材シ-ト94を積層した積層物を素材としている。仮置台の緩衝材シ-ト94のクッション性により基板表面に傷が付かない。

請求項（抜粋）：

基板の研磨加工または研削加工前に、前もって定められた位置に加工に付される基板を待機させる仮置台、もしくは研磨加工または研削加工後に、前もって定められた位置に待機させられ、加工された基板を載せる仮置台であって、該仮置台は、剛性の樹脂製プレ-トの表面にポリビニルアルコ-ル多孔質体または高分子ヒドロゲルよりなる緩衝材シ-トを積層した積層物を素材とし、緩衝材シ-ト面に基板が載せられることを特徴とする、基板用仮置台。

IPC (3件)：

B24B 37/04 ,  B23Q 3/02 ,  H01L 21/304 622

FI (3件)：

B24B 37/04 Z ,  B23Q 3/02 A ,  H01L 21/304 622 Z

Fターム (5件)：

3C016BA03 ,  3C058AA04 ,  3C058AA07 ,  3C058AB03 ,  3C058CB06