液晶ディスプレイ基板の検査装置

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：志賀正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-241042
公開番号（公開出願番号）：特開平5-256792
出願日： 1992年09月09日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：

【要約】【構成】本発明は、検査対象の液晶ディスプレイ基板1に対向配置される電気光学素子10と、それらの間に電圧を印加するための電源と、電気光学素子に対して光を照射するための光源と、電気光学素子からの反射光を受光する受光器と、検査対象の液晶基板を定位値に固定するための固定装置20を備える。その固定装置は、基台21の表面21aを高精度に平坦となしてそこに溝22を形成し、その溝内から排気手段25により排気を行うことによって、液晶基板を基台の表面に対して真空吸着する。【効果】液晶ディスプレイ基板の製造工程においてそれ自体の欠陥を検査することが可能となり、液晶表示パネルの歩留まりの向上、低価格化を実現できる。また、固定装置により液晶基板を確実にかつ極めて容易に固定できるとともに、液晶基板に反りやうねりが生じていても、高精度に平坦とされた基台表面に真空吸着されることによってその反りやうねりが解消される。

請求項（抜粋）：

液晶ディスプレイ基板の欠陥を検査するための装置であって、前記液晶ディスプレイ基板の表面側に、電場を印加すると光学的性質が変化する電気光学素子を微小間隔をおいて対向配置し、その電気光学素子と前記液晶ディスプレイ基板の各画素電極との間に電源により電圧を印加するとともに、前記電気光学素子の背面に対して光源から光を照射してその反射光を受光器により受光して観察するように構成され、かつ、検査に際して前記液晶ディスプレイ基板を固定するための固定装置を具備し、その固定装置は、平坦な表面を有していてその表面に前記液晶ディスプレイ基板が密着する状態で配置される基台と、その基台の表面に形成された溝と、その溝内から排気を行って溝内を負圧とすることにより前記液晶ディスプレイ基板を前記基台の表面に対して真空吸着するための排気手段とを有してなることを特徴とする液晶ディスプレイ基板の検査装置。

IPC (5件)：

G01N 21/88 , G01M 11/00 , G01R 31/00 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平3-142498
特開昭62-112044
特開平3-142134

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