特許
J-GLOBAL ID：200903060277321651
チップの突き上げ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-079013
公開番号（公開出願番号）：特開平11-274181
出願日： 1998年03月26日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：
【要約】【課題】 チップが割れないように確実に突き上げてウェハシートから剥離させることができるチップの突き上げ装置を提供することを目的とする。【解決手段】 ペパーポット21に装着されるカバー板24の上面に凹凸部を形成し、その凹部に孔部25を形成する。ペパーポット21を上昇させてカバー板24をウェハシート11の下面とに押し付け、ペパーポット21の内部を真空吸引手段で真空吸引する。するとウェハシート11は凹部に吸い付けられ、チップ12から強制的に剥がされる。そこでピン23を上昇させてチップ12を突き上げ、移載ヘッド15のノズル16でピックアップする。
請求項（抜粋）：
ペパーポットと、ペパーポットの内部に設けられたチップ突き上げ用のピンと、ペパーポットを昇降させる第1の昇降手段と、ピンを昇降させる第2の昇降手段と、ペパーポットの内部を真空吸引する真空吸引手段とを備え、第1の昇降手段を駆動してペパーポットを上昇させてペパーポットの上面をウェハシートの下面に押し付けるとともに、真空吸引手段を駆動してウェハシートを真空吸着し、かつ第2の昇降手段を駆動してピンを上昇させてピンの上端部をペパーポットの上面に形成されたピン孔から突出させ、ピンでウェハシート上に貼着されたチップを突き上げるようにしたチップの突き上げ装置であって、前記ペパーポットの上面に凹凸部を形成し、凹部にウェハシートを真空吸着するための吸引孔を形成したことを特徴とするチップの突き上げ装置。
引用特許：
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