特許

J-GLOBAL ID：200903060281390650

縦型炉および縦型炉用ウェハボート

発明者： 鶴来 昌樹 ,  町田 隆志 ,  宮田 敏光
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立国際電気
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外1名)
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP1999005258
公開番号（公開出願番号）：WO2000-019502
出願日： 1999年09月27日
公開日（公表日）： 2000年04月06日
要約：

【要約】円弧状のウェハ支持部材によりウェハ周縁部を面接触により支持する従来の縦形炉用ウェハボートにおいて、ウェハの熱処理時に起こるスリップの発生を防止するために、ウェハ支持部材のウェハを支持する側の面の、ウェハ挿入方向と円弧の中心で45°の角度を為す位置に、前記支持部材が前記ウェハと接触しないように溝状の欠落部を設けた。

請求項（抜粋）：

加熱炉と、加熱炉内に配設された反応管と、前記反応管内に反応ガスをする手段と、前記反応管内にウェハを配置する配置手段とを備え、前記ウェハは{001}を主面とし結晶方位<100>、<010>、<-100>および<0-10>において前記配置手段と接触しない状態で前記ウェハを加熱する縦型炉。

IPC (3件)：

H01L 21/22 511 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/22 511 G ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68 A