特許

J-GLOBAL ID：200903060290460563

基板検査装置および基板検査方法

発明者： 中村 昭彦
出願人/特許権者： ヤマハ発動機株式会社
代理人 (3件)： 小谷 悦司 ,  伊藤 孝夫 ,  樋口 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-026703
公開番号（公開出願番号）：特開2006-214820
出願日： 2005年02月02日
公開日（公表日）： 2006年08月17日
要約：

【課題】 高い生産性を確保しつつ、製品基板の信頼性を向上させる。【解決手段】 実装処理が施された基板をカメラにより撮像してその画像データに基づき実装処理の良否を検査する実装検査装置4において、画像データに基づいて処理の良否を判定する判定部612と、検査タイミングに関するパラメータおよび検査レベルに関するパラメータを記憶する記憶部613と、この記憶手段に記憶されたパラメータに基づいて検査タイミング等を設定可能とするキーボード68等の設定手段と、設定された検査タイミングおよび検査レベルに従って検査を実施すべくカメラ等を制御する主制御部611とを備える。前記設定手段については、複数の検査タイミングを設定可能に構成され、かつその設定タイミング毎に個別に検査レベルを設定可能に構成されている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

複数の基板を順次搬送しながらペースト塗布、部品実装、リフローの少なくとも一つの処理を基板に施す処理装置の下流側に設けられ、前記処理が施された基板を撮像手段により撮像してその画像データに基づき前記処理の良否を検査する装置であって、 前記撮像手段により撮像された基板の画像データに基づいて前記処理の良否を判定する判定手段と、 検査タイミングに関するパラメータを記憶する記憶手段と、 この記憶手段に記憶された前記パラメータに基づいて検査タイミングを設定可能とする設定手段と、 この設定手段により設定された検査タイミングで、かつ当該検査タイミングについて予め設定されている検査内容に従って前記検査を実施すべく前記撮像手段および判定手段を制御する制御手段とを備え、 前記設定手段は、検査タイミングに関する前記パラメータから複数のタイミングを設定可能に構成されていることを特徴とする基板検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/956 ,  H05K 3/00

FI (2件)：

G01N21/956 B ,  H05K3/00 Q

Fターム (5件)：

2G051AA65 ,  2G051AB14 ,  2G051CA04 ,  2G051EA12 ,  2G051EB02

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 部品実装管理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-157272   出願人：松下電器産業株式会社

審査官引用 (3件)

• 外観検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-029385   出願人：株式会社日立製作所
• 欠陥検査装置および欠陥検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-252799   出願人：株式会社日立製作所, 日立電子エンジニアリング株式会社
• 特許第2926682号