特許
J-GLOBAL ID：200903060294409600
エリプソメータを用いた非接触表面粗さ測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-041088
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258060
出願日： 1993年03月02日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】 非接触で表面粗さを精密に測定することができるエリプソメータを用いた非接触表面粗さ測定方法を提供する。【構成】 被測定物2の表面に,光源3からのレーザ光を偏光子4を通して得られた偏光を所定の入射角度φで入射させ,被測定物2表面からの反射光を検光子5を通して受光検出器6で受光し,偏光状態を測定することにより,被測定物の屈折率を測定するエリプソメータ1を用いた非接触表面粗さ測定方法であって,被測定物2の表面に入射させた偏光の入射方向を変化させたときの屈折率を測定し,その最大値と最小値との差を求めることにより,被測定物2の表面粗さを測定する。屈折率差と表面粗さとの関係を予め既知の表面粗さを有する基準板で測定してグラフ化しておき,未知の被測定物で測定した屈折率差から表面粗さに換算する。
請求項（抜粋）：
被測定物の表面に所定の入射角度で偏光を入射させ,前記被測定物表面からの反射光の偏光状態を測定することにより,前記薄膜の屈折率を求めるエリプソメータを用いた非接触表面粗さ測定方法において,前記被測定物表面に入射させた前記偏光の入射方向を変化させたときの前記屈折率の最大値と最小値との差を求めることにより,前記被測定物表面の粗さを測定することを特徴とするエリプソメータを用いた非接触表面粗さ測定方法。
引用特許：
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