特許
J-GLOBAL ID：200903060294615332
マイクロフローセンサ
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
柏木 慎史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-100988
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292235
出願日： 1999年04月08日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：
【要約】【課題】 測定対象流体が未知の流体等であっても測定誤差の補正を正確に行えることができ、流量測定を経時的に安定した状態で行うことができるマイクロフローセンサを得る。【解決手段】 基板4上に少なくとも三つ設けられたマイクロブリッジセンサ5a,5b,5cの内、一つのマイクロブリッジセンサ5bの薄膜抵抗体8を流れが静止した状態の測定対象流体の雰囲気内に配置し、一つのマイクロブリッジセンサ5cの薄膜抵抗体を測定対象流体から隔離して所定の流体の雰囲気内に密封して配置する。そして、マイクロブリッジセンサ5b,5cの各薄膜抵抗体の温度差に応じた抵抗値差を検出し、この検出された抵抗値差に基づく抵抗値の比率を補正係数として算出する。これにより、たとえ測定対象流体が未知の流体等であっても、流量測定と補正用測定とが併せて行えるので、測定誤差補正が正確に行え、また、流量測定が経時的に安定した状態で行える。
請求項（抜粋）：
基板上に形成された堀部を跨いで熱的に絶縁された架橋構造であるマイクロブリッジ上に測定対象流体の流れに対して交差する方向に設けられて一定の電流の通電により発熱する薄膜抵抗体を有するマイクロブリッジセンサを備え、前記薄膜抵抗体の温度差に応じた抵抗値差に基づいて前記測定対象流体の流量を算出するとともに、その算出した流量の測定誤差を所定の補正係数を乗じて補正するマイクロフローセンサにおいて、前記基板上に少なくとも三つの前記マイクロブリッジセンサを設け、少なくとも一つの前記マイクロブリッジセンサの前記薄膜抵抗体を流れが静止した状態の前記測定対象流体の雰囲気内に配置する静止流体内配置手段と、少なくとも一つの前記マイクロブリッジセンサの前記薄膜抵抗体を前記測定対象流体から隔離して所定の流体の雰囲気内に密封して配置する流体隔離配置手段と、前記静止流体内配置手段により流れが静止した状態の前記測定対象流体の雰囲気内に配置された前記薄膜抵抗体と前記流体隔離配置手段により所定の流体の雰囲気内に密封して配置された前記薄膜抵抗体との温度差に応じた抵抗値差に基づく抵抗値の比率である補正係数を算出する補正用測定手段と、を備えることを特徴とするマイクロフローセンサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (2件)：
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