特許
J-GLOBAL ID：200903060303911705
光学式物体形状測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小谷 悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-008445
公開番号（公開出願番号）：特開平6-213620
出願日： 1993年01月21日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】 比較的簡単な構成で物体に関するデータを非接触で測定する。【構成】 受光レベルに応じた輝度信号を出力する複数の光電変換素子を有し、シリコンウェハSのエッジに対向するように配設されたイメージセンサ5と、これらの光電変換素子からの輝度信号のレベルに応じて2値化する2値化変換部62と、これらの2値化データの内、一方のレベルのデータをカウントするカウンタ63と、このカウント値を中央制御部67へ出力するレジスタ65等を備えた。中央制御部67は、このカウント値に基づいてシリコンウェハSの直径等を測定する。
請求項（抜粋）：
受光レベルに応じた輝度信号を出力する複数の光電変換素子をアレイ状に配してなる光学センサと、この光学センサに対して所定距離離して対向配置された光源と、上記光電変換素子からの輝度信号のレベルに応じて2値化する2値化手段と、これらの2値化データの内、一方のレベルのデータをカウントするカウント手段と、このカウント値を実測値に換算する換算手段とを備え、上記光学センサと上記光源との間に測定対象の物体を介入させるようにしたことを特徴とする光学式物体形状測定装置。
IPC (2件)：
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