特許

J-GLOBAL ID：200903060313030936

アパーチャ絞り及びその製造方法ならびにこれを用いた荷電ビーム描画装置

発明者： 中山 義則 ,  佐藤 秀寿 ,  戸所 秀男 ,  伊藤 博之 ,  早田 康成
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-162518
公開番号（公開出願番号）：特開平6-005499
出願日： 1992年06月22日
公開日（公表日）： 1994年01月14日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 交換調整が容易なアパーチャ絞りでかつ高精度並びに高速化電子線描画を行うことを目的とする。【構成】 複数のアパーチャ絞り4,8を同一固定治具17に固定したアパーチャ絞りとこれを交換するための予備排気室51と接地線を設けた荷電ビーム描画装置される。【効果】 交換時間、調整時間の大幅な短縮化及び高加速電圧大電流ビームによる高精度な描画が出来、高速処理が出来る。

請求項（抜粋）：

複数枚のアパーチャ絞りを用いて荷電ビームの形状を制御する荷電ビーム描画装置のアパーチャ絞りにおいて、少なくとも2枚以上のアパーチャ絞りが間隔をあけて同じ固定治具に固定一体化されていることを特徴とするアパーチャ絞り。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521