感光性・熱硬化性樹脂組成物及びそれを用いた樹脂絶縁パターンの形成方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)： ▲吉▼田繁喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-212020
公開番号（公開出願番号）：特開平11-286535
出願日： 1998年07月13日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：

【要約】【課題】バイヤホールの穴など、所定のパターンを安定してかつ効率良く形成でき、耐熱性、電気絶縁性等の諸特性に優れた硬化塗膜が得られるポジ型の感光性・熱硬化性樹脂組成物及び樹脂絶縁パターン形成方法を提供する。【解決手段】組成物は、(A)酸分解性エステル基を有する重量平均分子量500〜40,000の樹脂化合物、(B)活性エネルギー線の照射により酸を発生する化合物、(C)エポキシ樹脂、及び(D)有機溶剤を含有する。この組成物を基材上に塗布し、活性エネルギー線を選択的に照射し、露光部の前記酸を発生する化合物(B)を分解させて酸を発生させ、次いで約60〜120°Cで加熱し、露光部に存在する前記酸分解性エステル基を有する樹脂化合物(A)を分解させてその部分の塗膜をアルカリ水溶液に可溶性とする。現像して露光部を除去した後、約140〜180°Cで加熱して非露光部の塗膜を硬化させる。

請求項（抜粋）：

(A)酸分解性エステル基を有する重量平均分子量500〜40,000の樹脂化合物、(B)活性エネルギー線の照射により酸を発生する化合物、(C)エポキシ樹脂、及び(D)有機溶剤を含有することを特徴とするポジ型の感光性・熱硬化性樹脂組成物。

IPC (11件)：

C08G 59/40 , C08K 5/00 , C08L 33/02 , C08L 61/14 , C08L 63/00 , C08L101/06 , G03F 7/004 503 , G03F 7/032 , G03F 7/033 , G03F 7/039 601 , H05K 3/28

FI (11件)：

C08G 59/40 , C08K 5/00 , C08L 33/02 , C08L 61/14 , C08L 63/00 A , C08L101/06 , G03F 7/004 503 A , G03F 7/032 , G03F 7/033 , G03F 7/039 601 , H05K 3/28 D

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