特許

J-GLOBAL ID：200903060316380903

半導体膜の検査方法、薄膜トランジスタの製造方法、および半導体膜の検査装置

発明者： 小橋 裕
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-285589
公開番号（公開出願番号）：特開2001-110861
出願日： 1999年10月06日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】 短時間のうちに非破壊で半導体膜の表面状態を検査することにより、TFTの製造工程などにおいて、正常な膜質の多結晶性半導体膜を形成した基板のみを後工程に回すことのできる多結晶半導体膜の検査方法、TFTの製造方法、および多結晶性半導体膜の検査装置を提供すること。【解決手段】 ラインビームによるレーザアニールを行って得た多結晶性の半導体膜12の表面が大きく荒れていると、ほぼ45°光が照射されたとき、光が半導体膜12の表面で散乱し、受光される。よって、散乱光の出力が高レベルであるとして、この基板10に形成された半導体膜12の表面が荒れていると判定する。

請求項（抜粋）：

基板に形成された半導体膜の表面に方向性を有した光を照射し当該半導体膜表面からの散乱光の強度を計測し、該散乱光の強度に基づいて前記半導体膜の表面の凹凸状態を判定することを特徴とする半導体膜の検査方法。

IPC (11件)：

H01L 21/66 ,  G01B 11/30 102 ,  G01N 21/956 ,  G01N 21/958 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/00 338 ,  G09F 9/00 352 ,  H01L 21/20 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (11件)：

H01L 21/66 J ,  G01B 11/30 102 Z ,  G01N 21/956 A ,  G01N 21/958 ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 338 ,  G09F 9/00 352 ,  H01L 21/20 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 624 ,  H01L 29/78 627 G

Fターム (112件)：

2F065AA49 ,  2F065BB17 ,  2F065CC31 ,  2F065DD06 ,  2F065FF41 ,  2F065FF61 ,  2F065GG04 ,  2F065GG23 ,  2F065GG24 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ00 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ09 ,  2F065MM03 ,  2F065NN02 ,  2F065NN13 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ42 ,  2F065SS04 ,  2F065SS09 ,  2F065TT03 ,  2G051AA51 ,  2G051AA90 ,  2G051AB07 ,  2G051AB20 ,  2G051BA01 ,  2G051BA08 ,  2G051BA10 ,  2G051BB01 ,  2G051BC06 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB05 ,  2G051DA07 ,  2G051DA13 ,  2G051EA11 ,  2G051EA17 ,  2G051EA30 ,  2G051EB01 ,  2H088EA02 ,  2H088FA11 ,  2H088FA30 ,  2H088HA08 ,  2H088HA28 ,  2H088MA16 ,  2H092JA24 ,  2H092JB77 ,  2H092KA04 ,  2H092KA07 ,  2H092MA30 ,  2H092MA55 ,  2H092NA29 ,  2H092NA30 ,  4M106AA10 ,  4M106AB20 ,  4M106BA05 ,  4M106CA24 ,  4M106DB08 ,  4M106DB12 ,  4M106DE11 ,  4M106DH12 ,  4M106DH32 ,  4M106DH38 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ05 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ38 ,  5F052AA02 ,  5F052BB07 ,  5F052DA02 ,  5F052DB03 ,  5F052JA01 ,  5F052JA10 ,  5F110AA24 ,  5F110BB01 ,  5F110CC02 ,  5F110DD02 ,  5F110DD13 ,  5F110EE04 ,  5F110EE44 ,  5F110FF02 ,  5F110FF30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG25 ,  5F110GG45 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ12 ,  5F110HJ23 ,  5F110HM14 ,  5F110HM15 ,  5F110NN02 ,  5F110NN23 ,  5F110NN35 ,  5F110NN40 ,  5F110PP03 ,  5F110QQ09 ,  5F110QQ11 ,  5G435AA14 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435EE33 ,  5G435KK05 ,  5G435KK09 ,  5G435KK10