特許
J-GLOBAL ID：200903060320401095

透過型電子顕微鏡における自動試料傾斜装置

発明者：
細川史生

細川史生 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


代理人 (1件)： 青木 健二 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-091250
公開番号（公開出願番号）：特開平11-288679
出願日： 1998年04月03日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：
【要約】【課題】試料を、数学的に求めた試料の結晶の異なる方位のなす角に自動的に傾斜し、かつ数学的に求めた試料の位置ずれが解消するように自動的に移動する。【解決手段】試料4の電子回折パターンが撮像用TV7を介して像認識手段11で認識され、かつ解析手段12によってこの電子回折パターンから結晶方位およびそこから観察しようとする目的方位への必要な試料傾斜の方位および傾斜角が計算される。位置補正手段14により試料傾斜機構9が制御され、試料4の像が像表示手段13の画面から外れない程度に微小傾斜され、かつ生じた試料4の位置ずれが解析手段12によって計算される。位置補正手段14により、この位置ずれが解消するように試料移動機構8および偏向コイル6が制御されて、位置補正制御が行われる。そして、このような試料4の傾斜および位置補正制御が計算された傾斜角になるまで繰り返し行われる。
請求項（抜粋）：
試料を前後左右方向および上下方向に移動させる試料移動機構と、試料を所定に傾斜角に傾斜する試料傾斜機構と、これらの試料移動機構および試料傾斜機構をそれぞれ制御する電子制御装置とを少なくとも備え、前記試料移動機構により前記試料を前後左右方向および上下方向に移動させて試料の位置を調節するとともに、前記試料傾斜機構により前記試料を所定の傾斜角に傾斜し、この試料に電子ビームを照射して、試料を透過した透過電子を偏向コイルで偏向制御して撮像手段に結像させ、この撮像手段で試料の像を撮影することにより、試料の高分解能の像を得る透過型電子顕微鏡において、前記電子制御装置は、前記撮像手段からの像信号に基づいて、試料の現在の結晶方位で得られる電子回折パターンを得る像認識手段と、この像認識手段からの電子回折パターンの強度分布を解析することにより、現在の結晶方位を計算するとともに、観察しようとする目的の結晶方位に移行するために必要な、前記試料傾斜機構の傾斜方向および傾斜値を計算し、更にこの計算した傾斜方向および傾斜値に基づく前記試料傾斜機構による試料傾斜制御後に生じた位置ずれを計算する解析手段と、前記撮像手段からの像信号に基づいて試料の像を表示する像表示手段と、前記解析手段により計算された前記傾斜方向および前記傾斜値に基づいて前記試料傾斜機構を、前記試料の結晶方位が観察しようとする目的の結晶方位となるように制御するとともに、前記解析手段により計算された前記位置ずれに基づいて前記試料移動機構および前記偏向コイルの少なくとも一方を、この位置ずれが解消するように位置補正制御する位置補正手段とを備えていることを特徴とする透過型電子顕微鏡における自動試料傾斜装置。
IPC (2件)：
H01J 37/20 ,  H01J 37/26
FI (2件)：
H01J 37/20 C ,  H01J 37/26
引用特許：
審査官引用 (3件)

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