特許

J-GLOBAL ID：200903060323793865

インクジェットヘッド及びその製造方法

発明者： 入野田 貢
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 高野 明近
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-349213
公開番号（公開出願番号）：特開2000-168081
出願日： 1998年12月09日
公開日（公表日）： 2000年06月20日
要約：

【要約】【課題】 振動板と個別電極のギャップを広範囲に制御することを可能とし、更には、完全な電極間の絶縁分離を可能とし、消費電力の低減を可能とする。【解決手段】 インク滴を吐出する単一又は複数のノズル21と、このノズル21に連通するインク加圧室2と、該加圧室2と接して設けられた振動板1と、この振動板1に空間を経て対向して設けられた個別電極33とを有する。振動板1と個別電極33との間に電圧を印加することにより、振動板1に変形を生じさせ、ノズル21からインク液滴を吐出する。個別電極33は単結晶シリコン基板31に形成された凹部内に配置され、かつ、前記シリコン基板31上に順次形成した酸化シリコン膜32上に形成されており、更に、ギャップスペーサは前記酸化シリコン32とホウ珪酸ガラス6から構成されている。

請求項（抜粋）：

インク滴を吐出する単一又は複数のノズルと、このノズルに連通するインク流路と、該流路と接して設けられた振動板と、該振動板に空間を経て対向して設けられた個別電極とを有し、該個別電極と前記振動板との間に電圧を印加することにより、前記振動板に変形を生じさせるインクジェットヘッドであって、前記個別電極が絶縁膜で構成されるギャップスペーサを介して前記振動板と対向して形成され、該個別電極に電圧を印加して前記振動板を静電引力により変形させ、前記ノズルからインク液滴を吐出するインクジェットヘッドにおいて、前記個別電極は単結晶シリコン基板に形成された凹部内で、かつ、該単結晶シリコン基板上に順次形成した酸化シリコン膜上に形成されており、更に、前記ギャップスペーサは前記酸化シリコンとホウ珪酸ガラスから構成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (15件)：

2C057AF24 ,  2C057AF54 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG54 ,  2C057AG88 ,  2C057AG92 ,  2C057AG93 ,  2C057AG94 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP34 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA15