特許
J-GLOBAL ID：200903060326111820
基板搬送装置および基板処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-199935
公開番号（公開出願番号）：特開平11-045927
出願日： 1997年07月25日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：
【要約】【課題】 搬送中の基板に対してパーティクル付着による汚染が少ない基板搬送装置を提供する。【解決手段】 搬送アーム10bは、基板を確実に保持する基板保持機構を備えるとともにアーム傾斜機構70によって傾斜される。アーム傾斜機構70は、モータ71とベルト74とプーリ73とを組み合わせた動作機構であり、モータ71の正または逆回転はモータ軸72およびベルト74を介してプーリ73に伝達され、当該プーリ73が固設されているアーム支持部材75および搬送アーム10bがプーリ73の回動軸を中心にして回動・傾斜することとなる。搬送アーム10bが基板を傾斜させて保持すれば、搬送中の基板に対して垂直にダウンフローが流れることはなくなるため、基板にパーティクルが付着して汚染されるのを防止することができる。
請求項（抜粋）：
所定の処理部間で基板の循環搬送を行う基板搬送装置であって、(a) 基板を保持する保持アームと、(b) 前記保持アームを、基板を水平に保持した状態と基板を鉛直にまたは所定の角度傾斜させて保持した状態とに切り換えることが可能なアーム姿勢変更手段と、を備えることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, H01L 21/30 569 D
