特許
J-GLOBAL ID：200903060327213901
シャドウマスクの製造方法及びこれに用いられる耐エッチング層塗布装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-253814
公開番号（公開出願番号）：特開平10-154461
出願日： 1997年09月18日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：
【要約】【課題】 耐エッチング層の塗布時に、小孔側の凹部に気泡が残存して耐エッチング層に欠陥が発生することを防ぐことにより、開孔形状及び開孔径にばらつきがなく、ムラ品位の良好なシャドウマスクを得る。【解決手段】 ドクターブレードを備えた直径約20mm〜約60mmのグラビアロールを帯状金属薄板の下方に設け、その上部には対向する支持体を配置せず、耐エッチング層塗布液を、金属薄板の搬送速度の4倍ないし25倍の周速で、金属薄板の搬送方向と逆向きに回転させたグラビアロールに供給し、ドクターブレードにより、余剰分を掻き取った後に金属薄板に塗布する。
請求項（抜粋）：
エッチングにより複数の凹部が形成された第1の主面及び複数の開口をもつレジスト層が形成された第2の主面を有する帯状金属薄板を、該第1の主面を下側にして配置し、該第1の主面の下方に、直径約20mm〜約60mmのグラビアロールと、該グラビアロール上に耐エッチング層塗布液を供給する部材と、該グラビアロール上に設けられたドクターブレードとを有する耐エッチング層塗布装置を設け、該帯状金属薄板をほぼ水平に搬送しながら、該グラビアロールを該帯状金属薄板の搬送速度の4倍ないし25倍の周速で、該帯状金属薄板の搬送方向と逆向きに回転させて該第1の主面上に接触せしめ、該グラビアロールが接触された該第1の主面上の位置に対し反対側の第2の主面上の位置を自由な状態に保ちながら、該耐エッチング層塗布液を、該グラビアロールに供給し、該ドクターブレードにより、該グラビアロール上の余剰の耐エッチング層塗布液を掻き取った後、該第1の主面に塗布して、耐エッチング層を形成する工程、及び前記第2の主面をエッチングに供し、該第2の主面から凹部に通じる開孔を形成する工程を具備するシャドウマスクの製造方法。
IPC (4件)：
H01J 9/14
, B05C 3/18
, B05D 3/00
, C23F 1/00
H01J 9/14 G
, H01J 9/14 H
, B05C 3/18
, B05D 3/00 G
, C23F 1/00 C
