光送受信デバイス及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大菅義之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-002024
公開番号（公開出願番号）：特開平11-202140
出願日： 1998年01月08日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：

【要約】【課題】ハイブリッド実装された発光素子、受光素子間のクロストークを低減することの出来、小型且つ送受同時動作可能な光デバイスを提供する。【解決手段】Si等のプラットフォーム基板に絶縁膜(酸化膜)18を積層し、この上に送信部配線パタン13及び受信部配線パタン17を設ける。発光素子12の下部はプラットフォーム基板11が凸型に突出した台が設けられるが、受光素子16には、この台は設けられず、絶縁膜18の厚さが厚くなっている。導波路14には、溝が作られ、WDMフィルタ15が取り付けられる。絶縁膜18の下には、絶縁性を高めるためにダイアモンド/SiC層を設けてもよく、更に、その下には導電層が設けられる。導電層を接地することにより、電気的クロストークを抑制する。光学的クロストークは発光素子12をWDMフィルタ15の入力出射口20側に、受光素子16を反対側に配置することによって改善する。

請求項（抜粋）：

基板上面あるいはその一部領域に形成された導電層と、少なくとも発光素子搭載部及び受光素子搭載部の下方に形成された絶縁層と、該絶縁層上に形成された光導波路と、該絶縁層上に形成された電気配線パタンと、該光導波路と光結合するように電気配線パタンに接続した発光素子および受光素子とを有し、前記導電層を定電位部に電気的に接続可能としたことを特徴とする光送受信デバイス。

IPC (6件)：

G02B 6/122 , G02B 6/42 , H01L 31/0232 , H01S 3/18 , H04B 10/28 , H04B 10/02

FI (5件)：

G02B 6/12 B , G02B 6/42 , H01S 3/18 , H01L 31/02 C , H04B 9/00 W

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