特許
J-GLOBAL ID:200903060328196822
耐摩耗性硬質被膜付き金型
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-116582
公開番号(公開出願番号):特開平6-306645
出願日: 1993年04月21日
公開日(公表日): 1994年11月01日
要約:
【要約】【目的】 低温で緻密な膜を被覆できる放電式アーク放電式イオンプレーティング法を利用して、より高い耐摩耗性と靱性に優れた耐摩耗性硬質被膜を提供する。【構成】 ダイス、パンチ等の金型の少なくともキャビティ部分の表面に密着しTiN被膜とTiCx Ny 被膜の多層被膜を被覆した耐摩耗性硬質被膜付き金型。
請求項(抜粋):
ダイス、パンチ等の金型の少なくともキャビティ部分の表面に密着してTiN被膜とTiC<SB>x</SB> N<SB>y</SB> 被膜の多層被膜を被覆した耐摩耗性硬質被膜付き金型であって、該TiN被膜が0.1μm以上3μm以下の膜厚であり、該TiN被膜上にTiC<SB>x</SB> N<SB>y</SB> 被膜が3層被覆され、該TiC<SB>x</SB> N<SB>y</SB> 被膜層の炭素濃度xと窒素濃度yとの関係がx+y=1でかつ、該TiN被膜との最近接層では0.25≦x≦0.35の範囲で、膜厚が0.2μm以上1.0μm以下で、また中間層でのxが、0よりも大きく、該最近接層のxよりも小さく、膜厚が0.2μm以上1.0μm以下で、また最表面層のxが0.35<x≦0.5の範囲で、膜厚が0.2μm以上1.5μm以下である4層構造を有することを特徴とする耐摩耗性硬質被膜付き金型。
IPC (4件):
C23C 28/04
, C23C 14/06
, C23C 14/32
, C23C 16/30
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