特許
J-GLOBAL ID：200903060331106516
ウェハ配列検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-288358
公開番号（公開出願番号）：特開平8-148546
出願日： 1994年11月22日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：
【要約】【目的】 複数のカセットを並列的に使用する場合であってもコストが低くコンパクトであるウェハ配列検出装置を提供する。【構成】 ウェハ搬送装置のフィンガ21上には検出器10の基板1が吸着ポート21a によって吸着固定されており、基台1はフィンガ21によってカセット8の装入口18近傍に移動され、カセット8の上端から下端へ走査されるようになっている。基板1には、限定反射式のウェハ検出用光電センサ2a,2bがウェハ7の周面に対して光軸が直角になるように、またウェハ検出用光電センサ2aの外側にはカセット8の装入溝9,9,...を検出する装入溝検出用光電センサ3が取付けてある。また、ウェハ検出用光電センサ2a,2bの略中間にはカセット8から突出したウェハ7を検出する突出ウェハ検出用光電センサ4が突設してある。一方、ウェハ搬送装置の近傍には検出器10を載置する待機台が設けてある。
請求項（抜粋）：
カセット内に形成された複数の溝にそれぞれ装填されたウェハの配列を検出する装置において、前記溝及びウェハを光学的に検出する検出器と、該検出器を載置する載置台と、前記検出器を着脱可能に保持し、前記カセットを走査すべくそれを移動する移動装置とを備えることを特徴とするウェハ配列検出装置。
IPC (2件)：
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