特許
J-GLOBAL ID：200903060337455474
検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-170788
公開番号（公開出願番号）：特開平9-021846
出願日： 1995年07月06日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：
【要約】【目的】 低コストで確実に半導体集積回路装置における検査を行う。【構成】 検査装置2に設けられたピンエレクトロニクスPEが、直流特性試験、交流特性試験ならびに機能試験を行う一般的なACチャネルと直流特性試験だけを行うDCチャネルとにより構成されている。DCチャネルは、被測定デバイス1に信号を印加するドライバおよび被測定デバイス1における電流値や電圧値などを測定するDC測定機により構成されている。そして、被測定デバイス1の入出力ラッチにおける電圧測定などのACチャネルが不要なテスト項目をDCチャネルにより行う。
請求項（抜粋）：
被測定デバイスの入出力ピンに対するインタフェイスとして使用され、前記被測定デバイスにおけるACテストおよびDCテストを行う第1の検査手段が設けられた検査装置であって、前記被測定デバイスにおけるDCテストのみを行う第2の検査手段を設けたことを特徴とする検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/26 G
, G01R 31/28 H
