特許

J-GLOBAL ID：200903060350645002

リニアモータ並びにこれを有するステージ装置および露光装置

発明者： 松木 敏雄 ,  鎌田 重人
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-194074
公開番号（公開出願番号）：特開2001-025227
出願日： 1999年07月08日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】 リニアモータコイル表面の保護膜にダメージを与えることなく、コイルを効率良く冷却し、このリニアモータを用いた装置の性能向上を図る。【解決手段】 コイルと該コイルを覆い内部空間に冷媒が供給されるジャケットを有するリニアモータにおいて、該ジャケットを内側ジャケットと外側ジャケットからなる二重ジャケット構造とし、コイルの内側ジャケットと外側ジャケットに性質の異なる二種類の冷媒を流す。

請求項（抜粋）：

コイルと該コイルを覆い内部空間に冷媒が供給されるジャケットを有するリニアモータにおいて、該ジャケットを内側ジャケットと外側ジャケットとからなる二重ジャケット構造とし、コイルの内側ジャケットと外側ジャケットに性質の異なる二種類の冷媒を流すことを特徴とするリニアモータ。

IPC (7件)：

H02K 41/02 ,  B23Q 5/28 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68 ,  H02K 3/24 ,  H02K 9/00

FI (7件)：

H02K 41/02 Z ,  B23Q 5/28 B ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 K ,  H02K 3/24 C ,  H02K 9/00 Z ,  H01L 21/30 503 A

Fターム (48件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031GA64 ,  5F031HA38 ,  5F031HA53 ,  5F031JA01 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F031PA11 ,  5F031PA30 ,  5F046CC01 ,  5H603AA12 ,  5H603AA13 ,  5H603BB01 ,  5H603BB09 ,  5H603BB15 ,  5H603CA01 ,  5H603CA02 ,  5H603CA05 ,  5H603CB01 ,  5H603CC19 ,  5H609BB08 ,  5H609PP02 ,  5H609PP05 ,  5H609PP08 ,  5H609QQ07 ,  5H609RR32 ,  5H609RR74 ,  5H641BB06 ,  5H641BB18 ,  5H641BB19 ,  5H641GG02 ,  5H641GG03 ,  5H641GG05 ,  5H641GG07 ,  5H641GG11 ,  5H641GG12 ,  5H641GG15 ,  5H641HH02 ,  5H641HH03 ,  5H641HH05 ,  5H641JB02 ,  5H641JB05