特許

J-GLOBAL ID：200903060353437206

焦点検出装置

発明者： 大野 修
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-250311
公開番号（公開出願番号）：特開2001-074446
出願日： 1999年09月03日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】構成及び調整が簡単で、且つ、合焦方向を瞬時に判断でき、素早く合焦位置を検出することができる焦点位置検出装置を提供することである。【解決手段】この焦点検出装置は、光学系により、半導体レーザ29からの測定光が被測定物22の被測定面に照射されると共に、上記被測定面からの反射光が集光される。この光学系によって集光される反射光は撮像素子30によって検出され、更にこの撮像素子30からの信号は信号処理部33で処理される。また、上記撮像素子30上の反射光の像には光学系により非点収差が発生される。そして、上記反射光の像の非円形性より、上記被測定面の合焦位置が検出される。

請求項（抜粋）：

被測定面の法線方向の位置を検出する焦点検出装置に於いて、測定光を被測定面に照射させると共に、上記被測定面からの反射光を集光させる光学系と、この光学系によって集光する反射光を検出する撮像手段と、この撮像手段からの信号を処理する信号処理手段と、上記反射光の像に非点収差を発生させる光学系と、を具備し、上記反射光の像の非円形性より上記被測定面の合焦位置を検出することを特徴とする焦点検出装置。

IPC (4件)：

G01C 3/06 ,  G01B 11/00 ,  G02B 7/28 ,  G03B 13/36

FI (4件)：

G01C 3/06 P ,  G01B 11/00 A ,  G02B 7/11 H ,  G03B 3/00 A

Fターム (34件)：

2F065AA02 ,  2F065AA06 ,  2F065DD04 ,  2F065DD06 ,  2F065EE08 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065GG06 ,  2F065HH03 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ00 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL12 ,  2F065LL36 ,  2F065PP04 ,  2F065QQ05 ,  2F065QQ34 ,  2F112AB01 ,  2F112BA05 ,  2F112BA07 ,  2F112CA12 ,  2F112DA25 ,  2F112DA28 ,  2F112FA03 ,  2F112FA08 ,  2H011AA06 ,  2H011BA51 ,  2H051AA11 ,  2H051AA15 ,  2H051BB31 ,  2H051BB35