特許

J-GLOBAL ID：200903060362298693

多孔質炭化珪素発熱体の製造方法

発明者： 山田 朝明 ,  杉原 孝臣
出願人/特許権者： 東海カーボン株式会社
代理人 (1件)： 高畑 正也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-280451
公開番号（公開出願番号）：特開平5-094864
出願日： 1991年09月30日
公開日（公表日）： 1993年04月16日
要約：

【要約】【目的】 目詰まりや偏りのない均質な通気孔と優れた材質強度を兼備する多孔質炭化珪素発熱体を効率よく製造する方法を提供する。【構成】 ポリウレタンフォームに炭化珪素スラリーを含浸し、余剰スラリーを除去したのち乾燥および焼成処理する第1工程と、第1工程で得られた多孔質炭化珪素焼結体を密閉反応系内に設置して加熱しながらトリクロロメチルシランを水素ガスで同伴させながら間欠的に供給してパルスCVIにより組織空孔に炭化珪素を析出沈着する第2工程からなる。

請求項（抜粋）：

有機質多孔発泡体に炭化珪素スラリーを含浸し、余剰スラリーを除去したのち、乾燥および焼成処理する第1工程、該工程で得られた多孔質炭化珪素焼結体を密閉反応系内において加熱しながらハロゲン化有機珪素化合物を間欠的に供給してパルスCVIにより組織空孔に炭化珪素を析出沈着する第2工程からなることを特徴とする多孔質炭化珪素発熱体の製造方法。