特許
J-GLOBAL ID:200903060362469544
配線基板およびそれを用いた半導体装置とプローブカード
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-320779
公開番号(公開出願番号):特開2008-135574
出願日: 2006年11月28日
公開日(公表日): 2008年06月12日
要約:
【課題】電気的信頼性に優れた多層配線基板を提供すること。【解決手段】第1の面2aおよび第2の面2bを有し、内部に配線導体5を有する基板2と、第1の面2aに形成された第1の電極パッド21と、第1の電極パッド21と配線導体5を介して電気的に接続されており、第2の面2bに形成された第2の電極パッド22と、第1の熱膨張係数αを有し、基板2の第1の面2aに接合された第1の絶縁層4と、第1の熱膨張係数αより大きい第2の熱膨張係数βを有し、基板2の第2の面2bに接合された第2の絶縁層5とを有する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
第1の面および第2の面を有するとともに、内部に配線導体を有しており、樹脂からなる基板と、
該基板の前記第1の面に形成された第1の電極パッドと、
前記配線導体を介して、前記第1の電極パッドに電気的に接続されており、前記基板の前記第2の面に形成された第2の電極パッドと、
第1の熱膨張係数を有し、前記基板の前記第1の面に接合された第1の絶縁層と、
前記第1の熱膨張係数より大きい第2の熱膨張係数を有し、前記基板の前記第2の面に接合された第2の絶縁層と、を備えた配線基板。
IPC (3件):
H01L 23/12
, G01R 31/26
, H05K 1/11
FI (3件):
H01L23/12 501B
, G01R31/26 J
, H05K1/11 N
Fターム (22件):
2G003AG04
, 2G003AG08
, 2G003AH05
, 2G003AH07
, 2G003AH08
, 2G011AA10
, 2G011AA16
, 2G011AA21
, 2G011AB06
, 2G011AC14
, 2G011AC21
, 2G011AE02
, 2G011AE22
, 2G011AF04
, 5E317AA02
, 5E317AA24
, 5E317BB02
, 5E317BB03
, 5E317BB04
, 5E317CC15
, 5E317CC25
, 5E317GG05
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
多層プリント配線板
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-064986
出願人:イビデン株式会社
前のページに戻る