特許

J-GLOBAL ID：200903060366324940

静電チャック装置およびその製造方法

発明者： マイケル・スコット・バーンズ ,  ジョン・ハワード・ケラー ,  ジョセフ・スキナー・ローガン ,  レイモンド・ロバート・ラッケル ,  ロバート・イーライ・トムキン ,  ロバート・ピーター・ウェストフィールド、ジュニア
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 合田 潔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-266486
公開番号（公開出願番号）：特開平7-201962
出願日： 1994年10月31日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：

【要約】【目的】 ワークピースと電極との間の静電引力によりワークピースを支持する静電チャック装置を提供する。【構成】 静電チャックを構成する要素部品を機械加工し、次に、陽極酸化を行って硬性の絶縁表面を形成し、その後、取付台に載せてアセンブリを行い、ウェーハを支持できる優れた絶縁特性を持つクランプ平面を形成する。冷却ガスが縁からのみ供給され、クランプ平面とウェーハとの間のすきまの内部で拡散される。冷却ガスが、クランプ平面とウェーハとの間の平均的な間隔によって画定されるインピーダンスを通って放射状に流れ、それによりガス圧が維持され、弾性シールを使用せずに、クランプ平面全体に均一なガス圧が供給される。

請求項（抜粋）：

静電引力によってワークピースを保持する静電チャックを製造する方法であって、アルミニウム合金で基部電極を機械加工により製作し、第2の電極を受ける電極凹部を上記基部電極の頂面に機械加工し、上記電極凹部は、第1の曲率半径を持つ第1の遷移領域により上記頂面に接続する内側および外側の凹部側面と、第2の曲率半径を持つ第2の遷移領域により上記凹部の両側面に接続し上記頂面から凹部の深さ分だけ下方の凹部底面とを有し、それにより、凹部横軸距離を画定するステップと、上記凹部横軸距離に関連させた第2の横軸距離と、上記凹部深さに関連させた第2の厚さとを以て、上記第2の電極を上記凹部に合致するように機械加工するステップと、上記基部電極および上記第2の電極を酸化アルミニウムの電極厚さに酸化し、それにより、上記基部電極が酸化された凹部横軸距離と酸化された凹部深さを持つ酸化された凹部を持ち、上記第2の電極が酸化された第2の横軸距離と酸化された第2の深さを持つようにし、さらに、上記の酸化アルミニウムの厚さと上記凹部横軸距離と上記第2の横軸距離とが互いに関連して、上記基部電極と上記第2の電極がアセンブルされたときに、該両電極の間に内側および外側の凹部ギャップが形成されるようにするステップと、上記の凹部側面および上記第2の電極の側面の少なくとも1つを結合剤でコーティングするステップと、上記基部および第2の電極をアセンブルし、上記両電極の頂面をそれに対応する参照取付台の基部および第2の電極の参照表面に押しつけ、上記第2電極の上記頂面が上記結合剤の収縮量の分だけ本来の上記第2電極の上記頂面に関連して置かれ、それにより、上記結合剤が収縮し、上記第2の電極の上記頂面が上記基部電極の上記頂面の下方の最終的位置まで引っ込むように、上記参照取付台の上記第2の電極の表面が上記参照取付台の上記基部電極の表面に関連して置かれるステップと、を有する製造方法。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00