特許
J-GLOBAL ID：200903060366417654
低応力膜を与える組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 猛 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-054771
公開番号（公開出願番号）：特開平7-242744
出願日： 1994年03月02日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：
【要約】【構成】 ポリアミド酸エステルの化学構造を持ち、特定の感光基濃度、特定のアミド結合濃度を有し、かつ加熱硬化して得られるポリイミド塗膜のイミド結合濃度が特定の範囲にある感光性ポリイミド前駆体及びこれを含む組成物。【効果】 上記前駆体から残留応力が低く、かつ高解像度のポリイミドのパターンが得られ、このポリイミドは高い伸度を持ち、基材との接着力に優れ、同時に耐水性が高い。
請求項（抜粋）：
下式〔1〕で示される繰り返し単位を有し、【化1】で表わされる化学構造基の濃度が0.8モル/kg以上であり、かつアミド結合の濃度が3.3〜5.0モル/kgの範囲にあるポリマーであって、これを加熱硬化して得られる下式〔2〕で示される繰り返し単位を有するポリイミドのイミド結合の濃度が5.0〜5.7モル/kgの範囲にあることを特徴とする感光性ポリイミド前駆体。【化2】【化3】(式中、X及びYは前と同じである。)
IPC (4件)：
C08G 73/10 NTF
, G03F 7/027 514
, G03F 7/038 504
, C08F299/02 MRU
