特許

J-GLOBAL ID：200903060366473902

クリーンルームを有する建屋及びクリーンルームの気流制御方法

発明者： 末永 修 ,  深沢 泰司 ,  若林 剛 ,  藤原 馨 ,  中田 正城 ,  松尾 剛伸 ,  後町 智雄
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  大成建設株式会社
代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-247780
公開番号（公開出願番号）：特開2000-065403
出願日： 1998年08月18日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】 二階のクリーンルームから一階の補機室を経由して清浄空気を循環させ、本来それほどの清浄度が要求されない補機室までも清浄度を管理していたため、それぞけ処理能力の高い外調機等の設備が必要となり、しかもエネルギー消費が著しく、イニシャルコスト及びランニングコスト共に高くなる。【解決手段】 本発明の建屋は、天井上側にプレナムスペース60が形成されたクリーンルーム10と、このクリーンルーム10の下階として形成された補機室20とを有し、クリーンルーム10と補機室20間に両者を遮断するパネル30を設けると共にパネル30上に隙間40を介してフリーアクセスフロア50を設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

天井上側にプレナムスペースが形成されたクリーンルームと、このクリーンルームの下階として形成された補機室とを有し、上記クリーンルームと上記補機室間に両者を遮断するパネルを設けると共に上記パネル上に隙間を介してフリーアクセスフロアを設けたことを特徴とする建屋。

IPC (2件)：

F24F 7/06 ,  H01L 21/02

FI (2件)：

F24F 7/06 C ,  H01L 21/02 D

Fターム (3件)：

3L058BF01 ,  3L058BF05 ,  3L058BF07