特許
J-GLOBAL ID：200903060369357288
トンネル顕微鏡用探針清浄化装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-174078
公開番号（公開出願番号）：特開平5-018706
出願日： 1991年07月15日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：
【要約】【目的】 探針を取り外さずにそのままの状態で極めて簡便にクリーニングできるようにする。【構成】 カートリッジタイプの試料ホルダに探針加熱用ヒータを設け、通常の試料ホルダと同一形状にして加熱ホルダを構成し、加熱ホルダをステージ電極部に装着し、探針をヒータ内に挿入して外部よりヒータに通電することにより、試料ホルダと加熱ホルダの交換のみによって探針をスキャナヘッドから取り外すことなく、間接的に加熱クリーニングする。
請求項（抜粋）：
探針を3次元的に駆動し、試料に探針を近づけてトンネル電流を検出する走査型トンネル顕微鏡において、探針と対向する位置に試料を固定するカートリッジ型試料ホルダに探針加熱用ヒータを設けて加熱用ホルダを構成し、前記ヒータに通電することにより探針を加熱クリーニングすることを特徴とするトンネル顕微鏡用探針清浄化装置。
IPC (2件)：
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