特許

J-GLOBAL ID：200903060369437974

カーボンヒーター

発明者： 木村 昇 ,  久保田 芳宏 ,  原田 今朝治 ,  佐藤 健司
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-321300
公開番号（公開出願番号）：特開平5-135858
出願日： 1991年11月08日
公開日（公表日）： 1993年06月01日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明は半導体製造装置などにおいて基板などを加熱するのに有用とされる、コンパクトで高耐熱性のカーボンヒーターの提供を目的とするものである。【構成】 本発明のカーボンヒーターは、主成分が固有抵抗 1,600μΩcm以上であるカーボン材よりなるものであることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

主成分が固有抵抗 1,600μΩcm以上のカーボン材よりなるものであることを特徴とするカーボンヒーター。