特許

J-GLOBAL ID：200903060369910815

はんだボールの整列検査装置

発明者： 綿住 輝博
出願人/特許権者： 日立ビアメカニクス株式会社
代理人 (1件)： 武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-215379
公開番号（公開出願番号）：特開2001-043370
出願日： 1999年07月29日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：

【要約】【課題】 マスクの表面が汚れても、はんだボールを確実に識別することができるはんだボールの整列検査装置を提供すること。【解決手段】 信号処理装置10により、ラインカメラ1から出力される連続する2個のビデオ信号VDの値の差を求め、求めた差の絶対値を後から出力されたビデオ信号VDの値に加算し、得られた和である出力信号VOを画像処理装置6に出力する。画像処理装置6は入力された出力信号VOを予め定める閾値と比較して2値化し、予め入力された整列パターンと比較する。そして、はんだボール5が所定の位置にない場合、あるいははんだボール5が予定しない場所にある場合は、当該位置を記憶すると共にアラームを出力して作業者に知らせる等の処理を行う。

請求項（抜粋）：

はんだボール載置台の表面をカメラで撮影し、前記カメラから出力された出力値に基づいてはんだボールの整列状態を検査するようにしたはんだボールの整列検査装置において、前記出力値を記憶する手段と、演算手段とを設け、前記出力値の時間的に前後する2個の差を求め、求めた差の絶対値を前記2個の出力値の予め定める一方に加算し、得られた和に基づいて前記はんだボールの整列状態を検査することを特徴とするはんだボールの整列検査装置。

IPC (3件)：

G06T 7/00 ,  G01B 11/00 ,  H01L 21/60

FI (4件)：

G06F 15/62 405 B ,  G01B 11/00 H ,  H01L 21/92 604 T ,  H01L 21/92 604 H

Fターム (28件)：

2F065AA03 ,  2F065AA20 ,  2F065AA49 ,  2F065BB07 ,  2F065BB15 ,  2F065CC26 ,  2F065DD04 ,  2F065FF42 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP11 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ01 ,  2F065QQ02 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ34 ,  5B057AA03 ,  5B057CH11 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DC22 ,  5B057DC32