基板処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-261671
公開番号（公開出願番号）：特開平7-094572
出願日： 1993年09月24日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：

【要約】【目的】小さなフットスペースで効率的に基板を処理することができる基板処理装置を提供する。【構成】メインロボット101がインデクサロボット20の搬送路24まで進入可能にするとともに、基板受渡位置26を前記搬送路24上でかつ基板処理部30が配列された列の延長線上に配置する。【効果】第1の基板搬送装置は回転動作等の複雑な制御を必要としない上に、基板受渡位置のスペースと第2の基板搬送装置の搬送路のスペースを共通にでき、全体のフットスペースが縮小できる。したがって、駆動機構および制御が簡易になるとともに、直線搬送により搬送時間を短縮して効率的な基板処理が可能となる。

請求項（抜粋）：

複数の基板処理部が配列された基板処理列と、該基板処理列に沿った基板搬送方向に基板を搬送し、各基板処理部との間で基板の受け渡しを行う第1の基板搬送装置と、第1の基板搬送装置の基板搬送方向と交差する方向に基板を搬送し、第1の基板搬送装置との間で基板の受け渡しを行う第2の基板搬送装置とを有し、第2の基板搬送装置が基板搬送のために移動する搬送路内に、第1の基板搬送装置を進入可能とするとともに、該搬送路上でかつ基板処理列の延長線上に、第2の基板搬送装置と第1の基板搬送装置との間で基板の受け渡しを行う基板受渡位置を配置したことを特徴とする基板処理装置。

IPC (6件)：

H01L 21/68 , B65G 49/07 , G02F 1/13 101 , H01L 21/027 , H01L 21/304 341 , H01L 21/304 361

FI (2件)：

H01L 21/30 502 J , H01L 21/30 564 C

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