特許
J-GLOBAL ID：200903060372126521
電子線描画装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-187856
公開番号（公開出願番号）：特開平6-036997
出願日： 1992年07月15日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：
【要約】【目的】 描画精度に悪影響を与える温度ドリフトの問題を解消することができるようにする。【構成】 偏向系を介して電子ビームを試料に照射すると共に、試料をX駆動テーブル14及びY駆動テーブル15により移動させて描画などの処理を行う電子線描画装置であって、システム制御計算機19によって前記試料またはX駆動テーブル14の時間経過に伴う温度変化量、及び前記試料またはX駆動テーブル14の熱膨張係数、描画時間、及び前記温度変化算出結果などに基づいて温度ドリフト補正量をシステム制御計算機19により求め、その温度ドリフト補正量に基づいて偏向系を偏向制御系20で制御し、或いはスケール座標系をテーブル座標制御系21によって制御する。
請求項（抜粋）：
偏向系を介して電子ビームを試料に照射すると共に、試料をX,Y駆動テーブルにより移動させて描画などの処理を行う電子線描画装置であって、前記試料または直下のテーブルの時間経過に伴う温度変化量を求める算出手段と、前記試料または前記直下のテーブルの熱膨張係数、描画時間、及び前記算出結果などに基づいて温度ドリフト補正量を求め、この補正量に基づいて描画位置を制御する制御手段とを具備することを特徴とする電子線描画装置。
FI (2件)：
H01L 21/30 341 D
, H01L 21/30 301 H
