特許
J-GLOBAL ID：200903060376428530
低温プラズマ処理装置におけるシール装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本多 小平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-156291
公開番号（公開出願番号）：特開平9-004716
出願日： 1995年06月22日
公開日（公表日）： 1997年01月07日
要約：
【要約】【目的】 長尺布帛を連続的に通過せしめる低温プラズマ処理室内の減圧状態を保たせるためのシール装置の開発。【構成】 低温プラズマ処理室の内部の外部とを連通する導入口及び導出口に接続されるシール筒を有し、このシール筒の内部には、互いに圧接されるシールロール対と、シール筒そのシール筒内側とは気密に保持されるが、シールロール対の周面とは微少な隙間で近設されるリップシールと、そのシール筒内側とは気密に保持されるが、シールロール対の両側端面とは微少な隙間で近設されるシール端面板を取付けてなる複数組のシール装置を、上記シール筒の外側端から低温プラズマ処理室に向けて隔設配置した。【効果】 長尺シート物を連続的に通過せしめる低温プラズマ処理室内を、その長尺シート物を連続的に通過せしめながらも室外とのシール性を確保することができ、しかもシールの維持耐久性も高めることができる。
請求項（抜粋）：
低温プラズマの雰囲気を保たせることができる低温プラズマ処理室に長尺シート物を連続的に通過させることができるシート物導入口及び導出口を設け、これらのシート物導入口及び導出口の夫々に、上記低温プラズマ処理室内の真空度を維持しながらその処理室内へのシート物通過を許すシール装置を設けた低温プラズマ処理装置において、上記シール装置は、低温プラズマ処理室の内部と外部とを連通する導入口及び導出口に接続されるシール筒を有し、このシール筒の内部には、互いに圧接されるシールロール対と、シール筒そのシール筒内側とは気密に保持されるが、シールロール対の周面とは微少な隙間で近設されるリップシールと、そのシール筒内側とは気密に保持されるが、シールロール対の両側端面とは微少な隙間で近設されるシール端面板を取付けてなる複数組のシール装置を、上記シール筒の外側端から低温プラズマ処理室に向けて隔設配置し、さらに上記シール筒内部の各シール対の相互間で形成されるそれぞれの空間には、真空ポンプに通じるバキューム管を接続したことを特徴とする低温プラズマ処理装置におけるシール装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
F16J 15/16 C
, D06M 10/00
, D06M 10/00 G
