特許
J-GLOBAL ID：200903060381932697
熱型赤外線検出器アレイ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
朝日奈 宗太 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-114571
公開番号（公開出願番号）：特開平11-218442
出願日： 1998年04月24日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：
【要約】【課題】 半導体の製造工程で一般的に使用される材料を用いて形成でき、結晶の不完全性により生じるノイズが小さく、各熱型赤外線検出器の赤外線の吸収面積が大きく感度が高い熱型赤外線検出器アレイを提供する。【解決手段】 赤外線の照射により生じた温度変化によって電気的な特性が変化することにより赤外線を感知する検知部と、脚部を介して前記検知部を保持する基板とを含んでなる熱型赤外線検出器が複数個2次元に配設されてなる熱型赤外線検出器アレイであって、前記検知部がトランジスタを含んでなり、前記熱型赤外線検出器の検知面上方に、赤外線の照射により熱を生じかつ当該熱をトランジスタに供給する吸収体が設けられる。
請求項（抜粋）：
赤外線の照射により生じた温度変化によって電気的な特性が変化することにより赤外線を感知する検知部と、脚部を介して前記検知部を保持する基板とを含んでなる熱型赤外線検出器が複数個2次元に配設されてなる熱型赤外線検出器アレイであって、前記検知部がトランジスタを含んでなり、前記熱型赤外線検出器の検知面上方に、赤外線の照射により熱を生じかつ当該熱をトランジスタに供給する吸収体が設けられる熱型赤外線検出器アレイ。
FI (2件)：
G01J 1/02 R
, G01J 1/02 C
