少なくとも1つのシステム絞りを備えた光学結像装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：足立勉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-522245
公開番号（公開出願番号）：特表2007-500869
出願日： 2004年07月02日
公開日（公表日）： 2007年01月18日
要約：

本発明は、少なくとも1つのシステム絞り(1,1’)を備えた光学結像装置(PL)、特に半導体リソグラフィ用のレンズを開示する。該システム絞り(1,1’)は、回転可能に装着された複数の可動薄板(4,4’)を備える。薄板(4,4’)は、球状に湾曲している。

請求項（抜粋）：

回転可能に装着された複数の可動薄板(4,4’)を備えた少なくとも1つのシステム絞り(1)を有する光学結像装置、特に半導体リソグラフィ用のレンズであって、薄板(4,4’)が球状に湾曲していることを特徴とする光学結像装置。

IPC (2件)：

G03B 9/02 , G03B 9/06

FI (2件)：

G03B9/02 A , G03B9/06

Fターム (3件)：

2H080AA21 , 2H080BB00 , 2H080DD07

引用特許：

審査官引用 (11件)

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